BTL7-P711-M0700-B-S32巴鲁夫位移分析方法

发布时间：2019/8/7

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耐高温

为缩短抽真空时间和获得较高真空度，真

空腔需要加热到100 °C甚至更高的温度。

因此，附着在编码器外壳上的水分子将被

气化并被快速抽除。为此，真空应用的编

码器必须能承受100 °C甚至更高的温度。

超净

真空腔中的编码器必须经过特别清洁处理，

保持高清洁度。大多数润滑脂和润滑油，

甚至指印，在真空中都渗出气体，因此都

不允许存在。否则，可能逸出细小颗粒或

灰尘，例如造成被检查的微电子电路板损

坏或影响实验结果。为此，在编码器生产

过程中和包装过程中，全面满足超净的特

殊要求。

海德汉在超净车间中生产真空应用的编码

器。包装也采用特别的设计。编码器采用

双重包装，密封前在包装内充入氮气。

电气连接

海德汉编码器的接头能方便地穿入真空腔

外壳。

LIP和LIF系列直线光栅尺需要接口电子电路

将信号转换成1•VPP。该接口在D-sub接头

内。接口电子电路直接安装在高真空应用

的设备上。对于超高真空应用，接口电子

电路必须在真空腔外。因此，高真空应用

的LIP和LIF提供两种版本的电缆。读数头与

接口电子电路间的电缆长度可达3米。