巴鲁夫位移传感器选择参数使用

更新时间：2019-08-07

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真空等级

在密闭的空间中，空气被抽出成为无空气

的空间。气室内的空气减少，气压下降，

产生真空。封闭空间中的空气量越少，气

压越低，真空度越高。真空度分为四级。

高于1 mbar的气压为低真空度。低于该气

压时，为中等真空度。低于0.001 mbar为

高真空度，达到或低于0.000 000•1•mbar

为超高真空度。

真空应用

真空需要一个密闭的空间不存在任何空气，

因此也不存在任何悬浮颗粒，不允许任

何“异物”存在。有时需要在真空中测量

尺寸，例如需要检查亚微米级的超精细结

构或需要切分和检查颗粒。直线光栅尺和

角度编码器在真空中的常见应用包括电子

显微镜、机械手、多路执行器、XY工作

台、电子束显微镜，半导体工业的圆晶检

查或测量同步加速器辐射的光谱仪轴。